'

Осаждение нитрида кремния

Понравилась презентация – покажи это...





Слайд 0

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Осаждение нитрида кремния


Слайд 1

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Добавление слоя поликремния (Поли0)


Слайд 2

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через 1-ый уровень маски (Поли0), используя литографию Фоторезист


Слайд 3

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Удаление ненужного Поли0, используя реактивное ионнное травление


Слайд 4

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Осаждение 1-ого слоя оксида, используя LPCVD (химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении)


Слайд 5

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 2-го уровня (углубление) используя фотолитографию... Фоторезистt и глубинное реактивное ионное травление


Слайд 6

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 2-го уровня (углубление) используя фотолитографию... Фоторезист и глубинное реактивное ионное травление


Слайд 7

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение безпримесного осаждённого слоя поликремния (Поли1) используя LPCVD… Затем осаждение PSG (фософосиликатного стекла) и отжиг


Слайд 8

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через 4-й уровень маски (Поли1), используя фотолитографию... Фоторезист и глубинное реактивное ионное травление


Слайд 9

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Осаждение 2-го слоя оксида


Слайд 10

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 5-го уровня, используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление


Слайд 11

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 6-го уровня, используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление


Слайд 12

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Осаждение безпримесного поликремния, затем нанесение PSG (фосфосиликатное стекло) слоя жёсткой маски, затем отжиг


Слайд 13

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 7-го уровня, используя фотолитографию и глубинное реактивное ионное травление


Слайд 14

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Нанесение изображения через маску 8-го уровня, используя фотолитографию и отрыв, затем удаление ненужного фоторезиста и металла в ванне растворителя


Слайд 15

Нажмите кнопку мышки или пробел для продолжения Все слайды собственность Cronos Реализация структуры, используя HF Si подложка


×

HTML:





Ссылка: