'

Электрические характеристики разряда в CH4:H2 газовой смеси

Понравилась презентация – покажи это...





Слайд 0

Электрические характеристики разряда в CH4:H2 газовой смеси Устинов А. О., Золотухин А. А., Волков А. П., Образцов А. Н. Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, физический факультет, Москва. E-mail: obraz@acryst.phys.msu.ru


Слайд 1

Введение Активация газовой фазы посредством инициации электрического разряда является одним из наиболее распространенных методов, используемых при газофазном химическом осаждении (ГФХО). При этом характеристики получаемой плазмы и стабильность разряда зависят от многочисленных параметров и определяют возможность получения ГФХО пленок с заданными характеристиками. В данной работе проводились исследования вольт-амперных характеристик плазмы разряда постоянного тока в газовой смеси метана и водорода. В работе анализируются модельные представления, описывающие процесс осаждения углеродных пленок из газовой фазы.


Слайд 2

высоковольтный блок питания H 2 CH4 регуляторы расхода газа насос подложка анод катод металлическая камера с водяным охлаждением стенок Конструкция установки


Слайд 3

Схема процесса газофазного осаждения


Слайд 4

Общий вид вольт-амперной характеристики газового разряда


Слайд 5

Вольт-амперные характеристики газового разряда при различных параметрах Вольт-амперные характеристики газового разряда при давлении 80 Torr и концентрации метана 0, 2, 4, 8 и 15% в газовой смеси Вольт-амперные характеристики газового разряда при концентрации метана 8% и давлении 50, 60, 80, 100 и 110 Torr газовой смеси


Слайд 6

Эмпирическая формула U(I,P)=kIP+dP+aI2+bI+c - эмпирическая зависимость напряжения между электродами от силы тока и давления


Слайд 7

Модель осаждения углеродных пленок 1), 2) формирование углеродных кластеров разных типов 3) рост графенового листа 4) механическая нестабильность графенового листа 5) закручивание графенового листа в нанотрубку


Слайд 8

Результаты В результате исследования были определены границы стабильности разряда, выявлена взаимосвязь электрических параметров разряда (напряжения и тока) с давлением и составом газовой смеси. Полученные экспериментальные данные позволили установить эмпирическую формулу, описывающую их взаимосвязь с межэлектродным напряжением и током разряда. Также в работе была приведена модель осаждения углеродных пленок.


×

HTML:





Ссылка: