'

КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ

Понравилась презентация – покажи это...





Слайд 0

Сибирское Отделение Российской Академии наук КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ ул. Русская 41, Новосибирск, 630058, Россия Тел: (383) 333 2 7 60, Факс: (383) 3329 342 E-mail: chugui@tdisie.nsc.ru http://www.tdisie.nsc.ru


Слайд 1

Программа фундаментальных исследований Президиума РАН № 27 «ОСНОВЫ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ НАНОТЕХНОЛОГИЙ И НАНОМАТЕРИАЛОВ» Раздел Программы: 4. Диагностика наноструктур Научное направление Программы: 4.3. Оптические методы и спектроскопия.


Слайд 2

Исследование предельных характеристик методов диагностики наноструктур и наноустройств с использованием низкокогерентной интерферометрии Научный руководитель: проф., д.т.н. Ю.В. Чугуй Проект


Слайд 3

Цель работ Исследование предельных характеристик бесконтактных оптических измерительных технологий для наноиндустрии, позволяющих увеличить чувствительность, разрешение, глубину наблюдения и быстродействие приборных комплексов. Разработка и совершенствование диагностического и контрольно-измерительного оборудования, обеспечивающего решение измерительных задач как в микро-, так и в нано диапазонах.


Слайд 4

ПУБЛИКАЦИИ Сысоев Е.В. Метод частичного сканирования коррелограмм для измерения микрорельефа поверхностей [Текст] // Автометрия. – 2007. – Т. 43, № 1. - С. 107-115. //Sysoev E. V. White-Light Interferometer with Partial Correlogram Scanning ?Текст? // Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing 2007, Allerton Press Inc, 2007. - Vol 43, No. 1, P83-89. 2. Сысоев Е.В. Оптический метод обнаружения механических дефектов на поверхностях высокого класса чистоты [Текст] / Е.В. Сысоев, И.В. Голубев, Р.В. Куликов // Автометрия. – 2007. – Т.43, № 5. – С. 111-116. 3. Е.В.Сысоев. Измерение нанорельефа поверхности интерферометром белого света. /Сысоев Е.В.// Международный конгресс Гео-Сибирь2007. Тезисы докладов С. 4. Chugui Yu.V. Optical Measuring Systems and Technologies for Some Urgent Tasks in Industry and Science ?Текст? // ISMTII 2007 Proceedings of the 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Tohoku University, Sendai, Japan, September 24-27, 2007. - P. 83-86. 5. Optical measuring technologies and laser systems for industrial applications ?Текст? / Yu.V. Chugui, L.V. Finogenov, S.V. Plotnikov, A.K. Potashnikov, and A.G. Verkhogliad // ISMQC 2007 Proceedings of the 9th International Symposium on Measurement and Quality Control, Indian Institute of Technology Madras, Chennai, November 21-24, 2007. P. 15-20. Имеющийся научный задел


Слайд 5

Имеющийся научный задел Оптический нанопрофилометр Технические характеристики: 1. Измерение нанорельефа - диапазон измерений – от 0 до 50 мкм, - разрешение по глубине – не хуже 1 нм, - поперечное разрешение – 1 мкм, - площадь измерения – ~0.9x0.7 мм2, - время измерения – ~10 сек; 2. Измерение микрорельефа - диапазон измерений – от 0 до 10 мм, - разрешение по глубине – 0.5 мкм, - поперечное разрешение – 1 мкм, - площадь измерения – ~0.9x0.7 мм2, - время измерения – ~15 сек; Структура на полупроводнике 100x200 мкм, высота столбиков ~200нм. Размеры участка ~0.9x0.7 мм. Разрешение по оси Z ~1 мкм. Глубина канавки ~35 мкм, ширина ~75 мкм. 3D-реконструкция образцов поверхности


Слайд 6

Создание лабораторного стенда для исследований предельных характеристик методов диагностики наноструктур и наноустройств с использованием низкокогерентной интерферометрии. Подготовка стендовых экспериментов. Создание программ автоматической регистрации и обработки интерферограмм частично когерентного света. Отработка существующих и разработка новых алгоритмов обработки экспериментальных данных. Теоретическое и экспериментальное исследование факторов, влияющих на предельные характеристики методов диагностики наноструктур и наноустройств в зависимости от структурно-морфологических особенностей объекта исследования. Создание программно-алгоритмического обеспечения, которое представит широкие возможности по автоматическому измерению, 3D реконструкции и визуализации структурно-морфологических особенностей поверхностей объектов исследования на микро- и нано уровнях. Сбор и обработка экспериментальных данных, полученных на образцах с различными морфологическими и физическими свойствами. Анализ стендовых экспериментов. Краткое содержание исследований


Слайд 7

Ожидаемые результаты


Слайд 8

Спасибо за внимание


×

HTML:





Ссылка: