'

Оптико-электронный измеритель микроперемещений ??-?????????

Понравилась презентация – покажи это...





Слайд 0

Оптико-электронный измеритель микроперемещений ??-????????? В.В. Баранов, ?·?·???? Профессор БГУИР, Минск, Бровки, 6 ??????????????????,????,??????6? vvb@bsuir.by В.И. Ильин, ?·?·??? Заведующий лабораторией Института Физики НАН Беларуси, Минск, пр-т Независимости, 68 ???????????????????,????,????68? ilyin@inel-bas.net


Слайд 1

Содержание?? Общие сведения?? Состав макета измерителя ???????????? Устройство и принцип работы??????? Особенности работы ???? Программа параметризации???? Метрологическая оценка???? Резюме??


Слайд 2

Общие сведения?? Оптико-электронный измеритель микроперемещений предназначен для бесконтактного измерения размеров, перемещения, положения, профиля поверхности изделий и деформации пластин кремния в технологии больших и сверхбольших интегральных схем (БИС и СБИС - VLSIs) ??-???????????????????????,?????????????????????????????


Слайд 3

Общие сведения?? Оптико-электронный измеритель микроперемещений относится к классу лазерных??-???????????????????????микрометрометров триангуляционного типа (ЛТМ). Макет содержит?????????: ЛТМ??????????? Штатив с микрометрической подачей предметного столика.????????????


Слайд 4

Состав макета измерителя???????????? ЛТМ включает в себя:?????????????: полупроводниковый лазер мощностью 5 мВт с длиной волны излучения ? = 670 нм,???5??,????? = 670?????????; конденсорную линзу, обеспечивающую фокусировку лазерного луча на поверхность измеряемого объекта,????????????????????; воспроизводящий объектив с фокусным расстоянием 16мм,???16???????; корректирующее зеркало,??? ПЗС линейку и????????? микропроцессорное устройство обработки измерительной информации и управления ПЗС линейкой и полупроводниковым лазером.???????????????????????????????? ЛТМ подключается на стандартный порт компьютера, на который также загружается программа отображения измерительной информации.??????????????????????,??????????????????


Слайд 5

Устройство и принцип работы??????? В основу работы микрометра положен принцип оптической триангуляции. Излучение полупроводникового лазера 1 фокусируется объективом 2 на объекте 6. Рассеянное на объекте излучение объективом 3 собирается на CMOS-линейке 4. Перемещение объекта 6 – 6' вызывает соответствующее перемещение изображения. Процессор сигналов 5 рассчитывает расстояние до объекта по положению изображения светового пятна на линейке 4. ??????????????????2??????????????6??????????????3?????????????????4????6??6'?,????????????????5??????4????????????????


Слайд 6

Особенности работы???? ЛТМ подключается к источнику питания и интерфейс в соответствии с рекомендациями разработчика:??????????????????,????????????: Затем запускается программа настройки ЛТМ, названная RF60X-SP???????????????????RF60X-SP


Слайд 7

Программа параметризации???? Программное обеспечение “RF60Х-SP” предназначено для:“RF60Х-SP”????: тестирования и демонстрации работы ЛТМ;????????????????????; настройки параметров ЛТМ;?????????????; приема и накопления данных;?????????; После запуска программы появляется рабочее окно??????,???????


Слайд 8

Программа параметризации???? В строке "UART Baud Rate" выбираем скорость, на которой работает ЛТМ (начальная установка – 9600 бит/с),?"UART Baud Rate" (]???????????)??,?????????????????(?????9600??/?)? В строке "COM Number" выбираем номер порта RS232 персонального компьютера, к которому ЛТМ подключён,?"COM Number"(?????)??,???????RS232???????????????????, Строка "Net Number of Device" определяет сетевой адрес ЛТМ (начальная установка – "1"),?"Net Number of Device"(?????)?,??????????????????(??????-1), При нажатии на кнопку "Connect" RF60Х-SP попытается наладить связь с ЛТМ с параметрами, заданными в вышеперечисленных строках. Если связь не установлена, выдается сообщение об отсутствии связи.???"Connect"(??)??,RF60Х-SP??????????????????????????????????


Слайд 9

Программа параметризации???? При успешном соединении:??????: 1) в строке "Device Type" индицируется тип ЛТМ;?"Device Type"(????)??,???????????????; 2) в строке "Serial Number" - серийный номер ЛТМ ;?"Serial Number" (???)??,????????????????; 3) в строке "Base Distance" - базовое расстояние ЛТМ; ?" Base Distance " (????)??,?????????????????; 4) в строке "Measuring Range" индицируется рабочий диапазон ЛТМ, и окно трансформируется к следующему виду:?"Measuring Range" (????)??,?????????????????;


Слайд 10

Программа параметризации???? После успешной установки связи проверяем работоспособность прибора: Устанавливаем объект в области рабочего диапазона ЛТМ.????????,?????????: Нажатие кнопки "Measure« выводит на панель индикации и панель "Oscillosco???,????“?????????”?pe” результаты измерения положения объекта. (Ось X – время (режим выборки по времени), либо номер отсчета (режим выборки по внешнему входу), Y – координата). При этом реализуется тип запроса 06h.??“Measure(??)”?,???????(X? –?? (????????), ????(??????????), Y – ??)????????????"Oscilloscope”(???)?????????06h????? Нажатие кнопки "Stream start « включает измерения в режиме выборки по времени в соответствии с установленным параметром Sampling Period. При этом реализуется тип запроса 07h.??“Stream start”(????)?,?????????Sampling Period(????)??,???????????????????067????? Перемещая объект в области рабочего диапазона, наблюдаем изменение показаний.??????????,??????????


Слайд 11

Программа параметризации ???? Нажатие кнопки "Stop"/"Stream stop” останавливает передачу данных. ??"Stop"/"Stream stop” (??/????)?,????????? Данные, поступающие от ЛТМ, накапливаются и сохраняются в кольцевом буфере размером 10000 измерений. ??????????????????????????????1000????????????? Левой клавишей мыши можно изменять масштаб графика, правой – перемещать график в области просмотра. ?????,?????????,???????????????? Нажатие правой клавиши вызывает меню "Сохранение данных в файл". ???,????“?????????”?


Слайд 12

Метрологическая оценка ???? В результате проведения калибровки и тестирования лазерного микрометра получен график распределения погрешности измерения на рабочем диапазоне. ?????????????????,???????????? Из графика видно, что погрешность измерения не превышает ± 3,3 мкм, что соответствует Техническим Требованиям к приборам данного класса. ????????,?????????????± 3.3??,????????????


Слайд 13

Резюме?? Оптико-электронный измеритель микроперемещений предназначен для бесконтактного измерения размеров, перемещения, положения, профиля поверхности изделий и деформации пластин кремния в технологии БИС и СБИС. ??-???????????????????????,????????????????????????????? Измеритель относится к классу лазерных микрометров триангуляционного типа, т.к. в основу работы микрометра положен принцип оптической триангуляции. ??-??????????????????????,????????????? Лазерный микрометр подключается на стандартный порт компьютера, на который также загружается оригинальная программа отображения измерительной информации. ??????????????????????,???????????????????? Частота считывания информации составляет 8 кГц, что позволяет определять перемещения быстродвижущихся объектов. ???????????8??,???????????????? Изготовлен и опробован макет измерителя, погрешность измерения которого не превышает 3,3 мкм во всём диапазоне измерений. ??????????,????????,??????????3.3??? Измеритель имеет невысокую стоимость и может изготавливаться серийно. ??????,????????


×

HTML:





Ссылка: